´©×ÅʽÖÇÄÜÉ豸×÷ΪÄÜ¿ìËÙÌá¸ßÉú»îÖÊÁ¿µÄ²úÎïĿǰÒѾ½¥½¥ÈÚÈëµ½ÈÕ³£Éú»îÖС£ÆäÖУ¬ÖÇÄÜÊÖ»·ÒÔ±ãЯºÍÔ½·¢¶àÔªµÄ¹¦Ð§£¬µÃµ½Á˹«¹²µÄÈϿɡ£
¡¡¡¡°ëµ¼ÌåоƬ×÷ΪÊÖ»·µÄ“ÐÄÔà”£¬³ÐÔØ×Ž¡¿µÌáÐÑ¡¢ÐÅÏ¢ÌáÐÑ¡¢ÐÄÂʲâÊÔ¡¢ÑªÑõº¬Á¿¼ì²âµÈ¸ü¸»ºñµÄ¹¦Ð§¡£ÎÒÃDz»¾·¢³öÒÉÎÊ£º“ΪʲôÕâССµÄоƬ¿ÉÒÔʵÏÖÔ½À´Ô½ÅÓ´ó¶àÑùµÄ¹¦Ð§£¿”
¡¡¡¡½ñÌ죬¾ÍÈÃÎÒÃÇÒ»ÆðÓÃʧЧ·ÖÎöµÄ³£¼ûÊֶΣ¬½Ò¿ªÖÇÄÜÊÖ±íÄÚ²¿Ð¾Æ¬µÄÉñÃØÃæÉ´£¡
¡¡¡¡Ê×ÏÈ£¬ÔÚÕýÊ½ÆÆ»µÐÔ²ð½âǰÏÈÈÃÎÒÃǼòµ¥µÄ¿´Ò»ÏÂËüµÄ½á¹¹¡£
¡¡¡¡X-ray
¡¡¡¡XÉäÏßɨÃè¿ÉÒÔÎÞËðµØ¼ì²é¼üºÏÏß¡¢PCB»ù°å¡¢Í¨¿×¡¢TSVµÈ³£¼ûÆ÷¼þ½á¹¹¡£
¡¡¡¡³ý´ËÖ®Í⣬X-rayÒ²¿ÉÒÔÎÞËðµØÊӲ쵽оƬÄÚ²¿µÄÖÖÖÖÒì³££¬ÀýÈ磺ÉÕÉË¡¢¿Õ¶´/·Ö²ã¡¢¶Ì·/¿ªÂ·µÈ£¬Ìáǰʶ±ðʧЧµãλ¡£
¡¡¡¡ÔÚʧЧ·ÖÎöÖУ¬OM³£ÓÃÓÚÅжÏоƬÍâ¹ÛÊÇ·ñÓÐÁÑÎÆ¡¢ÆÆËðµÈÒì³£ÏÖÏó¡£
¡¡¡¡3D-OM
¡¡¡¡¶Ô±È´«Í³ÌåʽÏÔ΢¾µ»ò½ðÏàÏÔ΢¾µ£¬3D-OM¿ÉÕë¶ÔÖÖÖÖ²îÒì¾Û½¹¸ß¶ÈµÄ´ý²âÎïÌ壬½øÐг¬¾°ÉîºÏ³ÉʵÏÖÈ«ÃæÇåÎúµÄÓ°Ïñ¡£
¡¡¡¡Èçͼ£¬½«ÊÖ»·µÄÆÁÄ»ÓÃÈÈ·çǹ¼ÓÈȺóÓëºó¸ÇÊèÉ¢£¬Í¨¹ý3D-OM¿ÉÒÔÔ½·¢ÇåÎúµØ¿´µ½Ö÷°åICµÄÈ«²¿ÐÅÏ¢£¬°üÂÞÎÒÃǽñÌìµÄÁ½Î»Öذõ¼Î±ö–Ö÷¿ØºÍ´æ´¢Ð¾Æ¬¡£
¡¡¡¡ÔÚ¾¹ýÈ¥³ýËܷ⽺ºó£¬Ð¾Æ¬·â×°ÄÚµÄÂãо½«ÍêÈ«·ºÆðÔÚÎÒÃÇÃæÇ°¡£¶ø3D-OMµÄ·Å´ó±¶ÂÊ¿ÉÒÔµ½´ï2000±¶£¬¿ÉÒÔÊӲ쵽Ðí¶à΢СÒì³£µÄͬʱ£¬Ò²¿ÉÒÔ½«¾Ö²¿·Å´óµÄͨ¹ýÆ´½ÓµÄ·½Ê½×éºÏ³ÉÒ»ÕÅÍêÕûµÄ¸ß·Ö±æÂʵÄÕûÌåͼ£¬¼æ¹Ëϸ½ÚºÍȫò¡£
¡¡¡¡ÒÔÏÂÎÒÃÇÒ²·ÖÏíһЩ£¬ÀûÓÃ3D-OMÅÄÉãµ½µÄ³£¼ûÒì³££¬ÀýÈçÉÕÉË¡¢ÁÑÎÆµÈ¡£
¡¡¡¡ÔÚͨ¹ý3D-OMÊÓ²ìÍêоƬÍâòµÄÐÎò֮ºó£¬ÍùÍùÎÒÃÇÒª½øÒ»²½ÊÓ²ìоƬ½ØÃæµÄÕûÌåÐÎò¡£
¡¡¡¡SEM£¨É¨Ãèµç×ÓÏÔ΢¾µ£©
¡¡¡¡Í¨³£ÎÒÃÇ»á½ÓÄÉ»·ÑõÊ÷Ö¬½«Ð¾Æ¬½øÐÐÏâÂñ£¬ÔÙ¾ÐÐÑÐÄ¥¡¢Àë×ÓÑÐÄ¥»ú´òÄ¥£¬Ö®ºó¾Í¿ÉÒÔ½øµ½SEM£¨É¨Ãèµç×ÓÏÔ΢¾µ£©ÊÓ²ìÕû¸öоƬºá½ØÃæµÄÐÎò¡£
¡¡¡¡ÑÐÄ¥Ö®ºóµÄ½ØÃæ¾¹ýÀë×ÓÅ×¹âÖ®ºó½çÃæ¸üÇåÎú£¬ÇÒ¿ÉÒÔ×îºéÁ÷ƽÉϼõÉÙ½ðÊôÐαäÁ¿£¬¼°Ïû³ýÑÐÄ¥»ØÌîºÍ»úеӦÁ¦ËðÉË¡£
¡¡¡¡ÑÐÄ¥½ØÃæ¿ÉÒÔÊӲ쵽Õû¸öÑùÆ·µÄ·â×°¡¢´òÏß¡¢º¸½Ó¼°×ßÏßµÄÇé¿ö£¬Á¬´ø·â×°Ò»ÆðÊÓ²ì¶ÔÓÚÖÆÆ·Ð¾Æ¬ÓÐÒ»¸öÈ«ÃæµÄÁ˽⣬ͬʱÀûÓÃSEMÅäÖõÄEDSÄܯף¬ÎÒÃÇ¿ÉÒÔ¶Ô¸ÐÐËȤµÄλÖýøÐÐÉí·Ö·ÖÎö¡£
¡¡¡¡Ê§Ð§·ÖÎöÊǼì²âоƬ¿É¿¿ÐÔµÄÒªº¦²½Ö裬Ëü¿ÉÒÔ×ÊÖúÎÒÃÇʶ±ðоƬʧЧµÄ»ù´¡ÔÒò£¬¶ÔÓÚ±£Ö¤²úÎï¿É¿¿ÐÔ¡¢ÓÅ»¯Éú²úÁ÷³Ì¡¢½µµÍάÐ޳ɱ¾ÒÔ¼°Ô¤·ÀδÀ´ÀàËÆÎÊÌâ¾ßÓÐÖØÒªÒâÒå¡£
¡¡¡¡ÏÂÒ»ÆÚ£¬ÎÒÃǽ«´ø¸÷È˼ÌÐøÉîÈëоƬµÄÉñÃØÄÚ²¿£¬Ì½Ë÷ÄÇЩÈâÑÛ¿´²»¼ûµÄÆæ¼££¬Æô³Ì½øÈëÒ»¸öÔ½·¢ÆæÃîµÄ΢¹ÛÊÀ½ç£¡